日本Fluoro福樂小型真空泵FV-10/FV-XP高效空氣微粒過濾器

FV-XP 在保持緊湊外形的同時，通過多級隔膜結構實現了比入門級 FV-10 更高的真空度和流量。

參數項目 技術規格

工作原理 無油多級隔膜式 (Dry Diaphragm)

真空壓力 -60 kPa (約 -450 mmHg)

流量 2.8 l/min

額定電壓 100-120 VAC (標準) / 240 VAC (可選)

功耗 10.0 W

潔凈等級 適合潔凈室 (Cleanroom Use)

外形尺寸 約 137 (D) $\times$ 88 (W) $\times$ 133 (H) mm

預期壽命 > 8,760 小時 (連續運行)

1. 多級隔膜技術 (Multi-stage Diaphragm)

FV-XP 的核心在于其內部的密封隔膜設計。通過多級增壓結構，它在極小的機身內實現了 -60 kPa 的高負荷真空壓。這使得它不僅能驅動微型吸筆，還能輕松應對 8英寸甚至12英寸 的大尺寸晶圓吸附，且吸附極其穩固。

2. 雙重 HEPA 過濾系統

為了嚴控生產環境的粒子污染，FV-XP 在進氣口和排氣口均配備了可更換的 HEPA 過濾器。

過濾效率： 對 $0.3\ \mu m$ 以上顆粒的過濾率達 99.97%。

可視化維護： 泵體設有透明視窗，操作員無需拆機即可檢查濾網的積塵狀態，確保潔凈輸出。

3. 電磁驅動與免維護設計

該型號采用電磁驅動力代替傳統馬達，機械接觸摩擦極低。

無油設計： 杜絕了潤滑油泄露對真空系統的污染。

長壽命： 理論耐久值高，且運行噪音遠低于普通旋轉泵。

4. 全鏈路防靜電 (ESD Safe)

機身采用添加了碳纖維的導電尼龍材料，配合導電螺旋管和接地端子，能夠迅速耗散靜電荷，防止在抓取貴重芯片時發生靜電擊穿（ESD）。