1. 創(chuàng)新的 DuoVac 雙向功能

FV-W 顯著的特點是支持 “吹氣釋放"。

吸附階段： 提供穩(wěn)定的負壓，確保晶圓或元件牢固吸附在吸頭上。

釋放階段： 當操作員按下吸筆開關(guān)時，泵體迅速切換輸出微弱的正壓（吹氣），抵消殘余真空并克服表面粘附力（如靜電或微量濕氣引起的吸附），實現(xiàn)“零延遲"釋放。

2. 潔凈室等級的空氣凈化

為了防止泵體內(nèi)部產(chǎn)生的微塵污染敏感的生產(chǎn)環(huán)境，F(xiàn)V-W 在空氣吸入口和排出口均內(nèi)置了 HEPA 過濾器。該過濾器能捕捉 99.97% 以上直徑小至 $0.3\ \mu m$ 的顆粒，確保排出的氣體達到潔凈室標準。

3. 針對防靜電優(yōu)化的機身

機身采用導電尼龍（Nylon）材質(zhì)，具備的靜電耗散性能。配合 Fluoro 的防靜電螺旋軟管和接地組件，可以構(gòu)建一個完整的 ESD 保護鏈路，防止靜電擊穿微電子元件。

4. 高可靠性與低噪音設(shè)計

采用電磁驅(qū)動的無油隔膜結(jié)構(gòu)，機械摩擦極低。這不僅使其理論壽命超過 8,760 小時（持續(xù)運行），還顯著降低了工作時的噪音和振動，提升了實驗室環(huán)境的舒適度。

1. 創(chuàng)新的 DuoVac 雙向功能

FV-W 顯著的特點是支持 “吹氣釋放"。

吸附階段： 提供穩(wěn)定的負壓，確保晶圓或元件牢固吸附在吸頭上。

釋放階段： 當操作員按下吸筆開關(guān)時，泵體迅速切換輸出微弱的正壓（吹氣），抵消殘余真空并克服表面粘附力（如靜電或微量濕氣引起的吸附），實現(xiàn)“零延遲"釋放。

2. 潔凈室等級的空氣凈化

為了防止泵體內(nèi)部產(chǎn)生的微塵污染敏感的生產(chǎn)環(huán)境，F(xiàn)V-W 在空氣吸入口和排出口均內(nèi)置了 HEPA 過濾器。該過濾器能捕捉 99.97% 以上直徑小至 $0.3\ \mu m$ 的顆粒，確保排出的氣體達到潔凈室標準。

3. 針對防靜電優(yōu)化的機身

機身采用導電尼龍（Nylon）材質(zhì)，具備的靜電耗散性能。配合 Fluoro 的防靜電螺旋軟管和接地組件，可以構(gòu)建一個完整的 ESD 保護鏈路，防止靜電擊穿微電子元件。

4. 高可靠性與低噪音設(shè)計

采用電磁驅(qū)動的無油隔膜結(jié)構(gòu)，機械摩擦極低。這不僅使其理論壽命超過 8,760 小時（持續(xù)運行），還顯著降低了工作時的噪音和振動，提升了實驗室環(huán)境的舒適度。